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重点分析了硅基ＳｉＯＮ光波导的工艺制作途径及其有关性能。根据有关实验结果，讨论了工艺中存在的问题，最后给出了它的应用。
氮氧化硅光波导的制作途径、性质及应用
【摘 要】
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重点分析了硅基ＳｉＯＮ光波导的工艺制作途径及其有关性能。根据有关实验结果，讨论了工艺中存在的问题，最后给出了它的应用。
【机 构】
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辽宁师范大学,上海冶金所微电子学分部
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1998年01期
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