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期刊论文
国内力敏传感器的研究进展
国内力敏传感器的研究进展
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoxiaofan0303
【摘 要】
:
近年来,国内力学量传感器的研究与应用已有较大进展,研究内容不断深入,研究范围不断拓宽,器件结构新颖,性能与可靠性有所提高,使应用领域再行扩大.
【作 者】
:
张桂成
【机 构】
:
中科院上海冶金研究所
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
1992年1期
【关键词】
:
力敏传感器
器件结构
光纤压力传感器
多晶硅压力传感器
测力传感器
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近年来,国内力学量传感器的研究与应用已有较大进展,研究内容不断深入,研究范围不断拓宽,器件结构新颖,性能与可靠性有所提高,使应用领域再行扩大.
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