SiGe技术专题文摘

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【摘要】

：

ＳｉＧｅ技术专题文摘ＷＤ９５５０１高性能发射极向上／向下硅－锗异质结晶体管＝Ｈｉｇｈｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｅｍｉｔｔｅｒ－ｕｐ／ｄｏｗｎＳｉＧｅＨＢＴ＇Ｓ［刊，英］／Ｂｕｒｇｈａｒｔｚ，Ｊ．Ｎ．…∥ＩＥＥＥＥｌｅｃ．Ｄｅｖ，Ｌｅｔｔ．－１９９４，１５... SiGe Technology Digest WD95501 High Performance Emitter Up / Down Silicon-Ge Heterojunction Transis

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

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1995年05期

【关键词】

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SiGe 异质结晶体管基区技术专题集电极电流高频性能工艺集成自对准渡越时间界面态密度

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