炫耀光栅及其在精密测长应用中的基本原理

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随着莫尔条纹技术的发展,透射式炫耀光栅的作用将越来越大。本文推导了锯齿型炫耀光栅的透射能量分布公式、光栅方程;证明了衍射级的主极强出现在光栅的自然折射方向上;导出产生双级主炫耀的条件,举例计算炫耀角φ与0级和第一级能量分布关系。叙述光栅付中出射角相同的衍射序列之间的关系,简要介绍炫耀光栅精密测长的基本原理和它所独有的特性,以及使用的主要条件等。本文提供透射式炫耀光栅的一些理论基础,对设计和改进透射式炫耀光栅有重要的指导意义。 With the development of moiré fringe technology, the function of transmissive flare grating will be bigger and bigger. In this paper, we derive the transmission energy distribution equation and grating equation of zigzag blazed grating. It is proved that the dominant pole of the diffraction order appears in the natural refraction direction of the grating. And the first level of energy distribution. Describe the relationship between the grating and the diffraction angle of the same incidence angle, and briefly introduce the basic principle of the show off grating precision measuring length and its unique characteristics, as well as the use of the main conditions. This article provides some theoretical basis for transmissive blazed grating, which has important guiding significance for the design and improvement of transmissive blazed grating.
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