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期刊论文
CMOS微机械加工温度传感器所用多晶硅层的特性研究
CMOS微机械加工温度传感器所用多晶硅层的特性研究
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guilinzd
【摘 要】
:
为了用CMOS工艺与微电子机械加工系统机容技术研制一种温度传感器。对其所用的5种多晶硅层的电阻温度关系及其可重复性进行了实验研究。测得材料的基准温度电阻,电阻温度系数及能够
【作 者】
:
薛洪福
【机 构】
:
哈尔滨工业大学应用物理系
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
1997年5期
【关键词】
:
多晶硅
微电子
机械加工系统
温度传感器
Polysilicon
MEMS
Temperature Coefficient
Resistance
Cri
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为了用CMOS工艺与微电子机械加工系统机容技术研制一种温度传感器。对其所用的5种多晶硅层的电阻温度关系及其可重复性进行了实验研究。测得材料的基准温度电阻,电阻温度系数及能够确定传感器工作范围的临界温度。找到适于作传感器的两种多晶硅层。
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