反应等离子喷涂TiN/AlN涂层的性能研究

来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：o70078

【摘要】

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TiN涂层可以通过传统的物理或者化学气相沉积（PVD及CVD）工艺制备,但其缺点是沉积速率低,涂层厚度过薄;这些都严重地限制了TiN涂层材料在磨、蚀服役条件下的应用.本文利用反应等

【作者】

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李晓亮阎殿然何继宁董艳春李香芝张建新

【机构】

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河北工业大学材料科学与工程学院

【出处】

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新技术新工艺

【发表日期】

：

2006年3期

【关键词】

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反应等离子喷涂 TiN/AlN复合涂层韧性磨损性能 reactive plasma spray TIN/AlN compound coating tou

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TiN涂层可以通过传统的物理或者化学气相沉积（PVD及CVD）工艺制备,但其缺点是沉积速率低,涂层厚度过薄;这些都严重地限制了TiN涂层材料在磨、蚀服役条件下的应用.本文利用反应等离子喷涂的方法制备了TiN/AlN涂层并研究分析了涂层的组织及摩擦磨损性能.结果表明：TiN/AlN涂层韧性比TiN涂层有所提高;TiN/AlN涂层不仅有较低的摩擦系数,且在高载下的磨损性能比TiN涂层有较大的提高.

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