随着MEMS技术的发展，有限元分析越来越不能适应复杂器件设计的要求，系统级的模拟和分析对器件的设计与优化起着越来越重要的作用。为了缩短设计周期、降低设计成本，迫切需要诞生新的MEMS CAD工具。 本文提出了一种基于节点法和等效电路模型库的MEMS系统级设计工具。围绕主要工作首先构建了软件体系框架，对软件构成模块进行了设计与调式。具体模块包括：版图解释，工艺编译，MEMS三维结构建模，节点单元划分与提取，节点网表生成，SPICE 单元库建立，局部网表映射，系统网表合成，等效电路模拟和后续优化等。 论文工作完成了版图CIF格式解释器的编程，结合加工工艺流程与参数的编译，实现了从2D版图到3D立体结构的转换。提出了一种基于二维图形学的MEMS器件节点单元提取算法，在分析了基本节点单元类型后，根据各单元的特征提炼了一系列节点单元提取规则，并实现了一整套具体提取的流程。基于提取结果生成的节点网表作为一种接口标准，网表映射模块根据此节点网表直接生成SPICE文件。 编制完成的MEMS系统级设计软件与现有的节点法设计工具(NODAS，Sugar)进行对比，显示了功能上和性能上的优势。 论文详细介绍了图样解释，矩形分割，工艺解释，三维结构生成，节点提取，矩形重叠，矩形邻接及网表生成等部分的程序流程及核心算法。以多种常用MEMS器件为例介绍了相关的算法、过程，均获得了正确的图形输出结果。 作为对一个应用型软件的设计与实现，文中还对相关数据结构、API绘图函数、OpenGL函数库等进行了介绍。 本论文采用Windows SDK实现软件系统框架和图形用户界面，用OpenGL绘制3D图像，用C