类金刚石多层薄膜的承载和摩擦学研究

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类金刚石薄膜(Dimond-like carbon,DLC)以其高硬度、优异的减摩耐磨性能等特点受到广泛的关注和研究,但是该薄膜内应力大、结合性能差等缺陷限制了其应用。改善这些缺陷就需要深入研究薄膜性能与基体、过渡层、摩擦测试条件等影响因素的关系。目前,关于承载条件下DLC薄膜的损伤机理及其结构对承载特性的影响规律尚未明确,薄膜随基体变形协调能力不足对摩擦学行为的影响有待揭示。基于以上问题,本文对DLC薄膜的承载特性分析及其摩擦学进行研究。采用磁控溅射技术制备了DLC薄膜。在沉积过程中,选用SUS3
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