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本文采用自制的磁控弧光射频等离子体增强化学气相沉积设备在生物玻璃基板上制备类金刚石碳(DLC)膜。采用探针轮廓仪、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜、热场发射扫描电镜、旋转摩擦磨损测试仪、紫外可见分光光度计及划痕仪等方法表征和分析了薄膜的厚度、结构、形貌、摩擦性能、光学性能和附着性能等,优化了DLC膜的制备工艺,探讨薄膜的生长机理。对DLC膜进行了退火热处理,并分析了薄膜的热稳定性能,研究了基板及梯度功率对DLC膜结构和性能的影响。采用适宜的工艺参数在不同的Au、Ag纳米粒子基底上沉积DL