光学薄膜激光损伤的无损评价是一个十分重要的研究领域。它在激光驱动的惯性约束核聚变以及强激光的应用中，都有着十分重要的作用。本文总结了目前国内几种主要的研究方法，包括用透射反射扫描法检测光学薄膜的激光损伤，用光声法测定光学薄膜的破坏阈值，以及用散射法来测量光学薄膜的损伤阈值等。在广泛调研的基础上，结合本实验室自身的优势，提出了应用光热偏转方法来评价光学薄膜的激光损伤。本文首先介绍了光热偏转方法的基本原理和特点，说明了光热偏转方法在无损检测领域有着许多突出的优点和重要的应用。然后描述了光热偏转方法的理论模型--三层介质模型，对三层介质模型的解的物理意义加以了说明，并着重论述了引起光热效应的物理量，即沿正向传播和反向传播的热波的物理意义。然后介绍了在实验中具体应用到的三种光热偏转方法--即掠射式的光热偏转方法、反射式的光热偏转方法和透射式的光热偏转方法。然后详细介绍了所设计的实验装置中的光、机、电、算等各个环节。对系统中的泵浦光路和探测光路设计时的考虑因素，以及设计实施方案，都作了详细的介绍。系统机械机构的设计，既要考虑使系统结构紧凑，又要使系统能够比较方便的调整。电子部分也是光热系统中十分重要和关键的一环，电子部分起到对原始的光热信号进行放大、滤波以及A／D转换的功能。计算机控制软件控制整个系统的三维扫描，数据采集以及对采集到的数据进行编码。最后给出了应用三种不同的激光器作为泵浦源而得到的实验结果，对这些实验结果作了对比分析，并对一些影响光热偏转法测量精度和速度的因素作了讨论和总结，并提出了今后的发展思路。