【摘 要】
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硅MEMS加速度计因高性能,低功耗等优点成为当今国内外研究的热点。硅MEMS加速度计的广泛使用也带来了其各项性能评价的问题。本文结合某研究所制定的硅MEMS加速度计设计出了一套高精度的采集测量系统。论文介绍了加速度计测试系统的整体设计方案,同时介绍了硬件的选择、软件模块的设计和流程图设计。数据采集软件系统主要由MFC(微软基础类库)和ACCESS数据库设计完成,本文对加速度计的多项性能指标进行了研
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硅MEMS加速度计因高性能,低功耗等优点成为当今国内外研究的热点。硅MEMS加速度计的广泛使用也带来了其各项性能评价的问题。本文结合某研究所制定的硅MEMS加速度计设计出了一套高精度的采集测量系统。论文介绍了加速度计测试系统的整体设计方案,同时介绍了硬件的选择、软件模块的设计和流程图设计。数据采集软件系统主要由MFC(微软基础类库)和ACCESS数据库设计完成,本文对加速度计的多项性能指标进行了研究,其中包括1g稳定性,偏值,偏值稳定性和重复性,标度因数,标度因数重复性和稳定性,偏值温度灵敏度,标度
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