焦平面阵列(FPA)是红外探测器的核心部分,它由无基底结构的微悬臂梁阵列构成。受热后微悬臂梁带动反光板发生机械变化,使反光板产生一个偏转角,从而得到物体的热成像。为研究提高FPA性能的方法,也为今后此类红外元件的推广和使用提供相关技术依据,需要测量其温度——形变特性曲线。由于FPA的每个微悬臂梁独立地把吸收的热转化为反光板的机械偏转,反光板尺寸又很小,传统的方法很难取得好的效果。相比于传统光学读出FPA手段,数字全息对物体微形变的观测具有高灵敏度、非接触、动态性好等特点并能改善成像质量,所以我们借助数字全息光学系统测量该曲线。因为整个热形变的测量过程是对微小单元形变的动态观测,因此实验研究采用显微数字全息测量技术对所拍物体的反光板单元进行放大,并选用反射式显微数字全息光路：分束后的物光经过显微物镜照射到FPA表面,反射后再次通过显微物镜与参考光相干,连续改变FPA温度并记录形变前后的物光场,通过数字再现计算其形变量,最终得到FPA反光板的温度——形变特性曲线,利用该曲线,我们还得到了FPA的热机械灵敏度,数值与现有资料吻合。