反应磁控溅射制备（Ti,Al）N薄膜的研究

被引量 : 18次 | 上传用户：a2422431

【摘要】

：

本文首先对气相沉积硬质薄膜(镀层)的发展以及TiN系列超硬薄膜的结构、性能和应用进行了综合描述，并分析了TiAlN薄膜相对与其它TiN系列薄膜的优势，指出了其发展的方向。随后总结了目前TiAlN薄膜的主要制备方法和主要的表征方式。在此基础上选用直流反应磁控溅射的方法在WC—6％Co和不锈钢基体上成功的沉积了TiAlN薄膜。通过改变氮气流量，基体温度等工艺参数，得到了不同组织结构、性能和微观形貌的T

【作者】

：

刘昕

【机构】

：

中南大学

【发表日期】

：

2004年06期

【关键词】

：

(Ti Al)NN薄膜磁控反应溅射原于力显微镜微观结构微观形貌

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

爱网特创新高峰论坛闪耀东方明珠

5月8日,一场由中国生产力学会水与健康委员会、中国国家经济技术合作促进会新能源发展委员会、上海爱网特实业(集团)有限公司联合主办,中国生产力学会协办的“创新、创造、创

期刊

爱网中国生产力经济技术合作明珠品牌展示自动导入互联网营销民族产业促进就业全面直观

小学语文教学巧设课堂情景

所谓问题情境，就是通过问题设计来渲染学生的情绪，在课堂上创设一种激发学生积极思考，动手动脑解决问题的氛围，以达到深入理解文本并解决问题的目的。课堂提问的精心设计，合理安排

期刊

问题情境语文教学教学效果

针状硅酸盐（FS）增强橡胶复合材料的界面设计与性能研究

本论文系统地考察了不同产地、不同粒径凹凸棒石(AT)在橡胶中的分散、AT-橡胶间的界面及其对AT/SBR橡胶复合材料力学性能的影响,从而筛选出了一种具有最佳增强效果的凹凸棒石

学位

凹凸棒石橡胶界面纳米纤维性能

城镇智能电网信息通信线路规划设计

随着电力实业的不断发展,加强对城镇职能电网信息通信线路设计有效地实现各个电网配置的灵活性,提升了电能输送的安全性,提升了电能质量.智能化电网的建设与发展有利于我国电

期刊

城镇智能电网信息通信线路规划

志苓胶囊联合丝裂霉素腹腔灌注对直肠癌合并恶性胸腹腔积液患者治疗效果分析

摘要：［目的］探讨志苓胶囊联合丝裂霉素腹腔灌注对直肠癌合并恶性胸腹腔积液患者治疗效果。［方法］选取收治的82例晚期直肠癌合并恶性胸腹腔积液患者，随机分为观察组和对照组。

期刊

固定通信行业大客户的满意度影响因素分析

移动通信的异军突起,对固定通信形成了强烈的冲击,使固定通信面临着困境.分析影响客户满意度的因素,并探讨相应的保有大客户、扩展新客户的有效路径,这是当起固定通信的重要

期刊

固定通信大客户满意度影响因素

超声对厌氧污泥消化特性的影响研究

一般污泥处理方法，如焚烧、填埋，都不能达到污泥处理资源化的目的。针对目前污泥处理量大，特别是处理高浓度、难降解污泥，处理效果不是很明显，厌氧处理方法作为传统的水处理常用技

学位

厌氧污泥超声处理技术消化特性化学反应

动物其实也很残暴

期刊

馆藏银器文物保存微环境的QCM监测方法

聚苯胺膜对有机气体分子具有一定的吸附能力。由于其表面呈蜂窝状，孔隙小，比表面积大，有利于较小体积的分子进入。并且金属离子的掺杂、ZnO/Pan复合膜都影响聚苯胺膜表面的孔隙

学位

银器文物文物保存馆藏文物聚苯胺膜有机气体分子循环伏安法扫描电镜

6061铝合金及其SiC颗粒增强复合材料的ECAP变形研究

一直是材料学领域研究的热点，通过细化晶粒，可在不改变材料成分()高材料的强度和韧性，同时获得相当好的塑性和超塑性。在当前各()细化晶粒的方法中，等径角挤压(ECAP-EqualChannel

学位

铝合金复合材料微观组织ECAP变形

反应磁控溅射制备（Ti,Al）N薄膜的研究

与本文相关的学术论文