近年来,由于在人类生活和工业生产中对湿度的监控越来越严格,因此湿度传感器获得了极大的应用与普及,而湿度传感器的性能取决于对湿度敏感材料的选择。氧化锌（ZnO）半导体材料由于其极好的结晶性,高电子霍尔迁移率和良好的热稳定性,尤其是结构形貌的可控性,成为研发低成本、高性能湿度传感器最有潜力的材料之一。然而纯氧化锌（ZnO）湿敏材料依然存在选择性、稳定性、抗干扰能力差等问题,因此期望利用金属元素对ZnO进行修饰来提高氧化锌湿敏材料的性能。金属元素的修饰可以促进氧化锌（ZnO）纳米半导体材料形成具有大比表面积,高活性位点,丰富氧空位的新型湿敏材料。另外,金属元素的修饰还能够增强氧化锌（ZnO）纳米半导体材料的电学特性。因此,吸引了人们对合成新型氧化锌（ZnO）基湿度敏感材料极大的兴趣,成为研发低成本高性能湿度传感器最热门的材料。基于以上观点,本文利用镁和金纳米粒子（AuNPs）成功改性了ZnO纳米半导体材料,对其研究如下:一.通过溶胶-凝胶法成功制取了具有高活性位点和丰富氧空位的Mg掺杂ZnO微米球。经过形貌和结构的分析可知Mg²⁺成功的掺进了ZnO的晶格中。在室温的条件下,对Mg掺杂ZnO纳米材料进行了湿敏测试。结果表明Mg掺杂ZnO（1.5mol%）微米球在湿度从11%至95%RH的环境中具有最佳的湿敏性能。Mg掺杂ZnO（1.5mol%）阻抗变化约4个数量级,且具有良好的线性响应,小滞后性（4.1%）,快速的传感恢复时间（12 s）及响应时间（24 s）。此外,用复阻抗图谱分析了Mg掺杂ZnO（1.5mol%）微球的感湿机理,为湿敏材料进一步优化和器件结构的设计提供了理论指导。二.利用溶胶-凝胶法成功的获取了具有高灵敏度湿度传感性能的纳米金粒子（AuNPs）修饰的黑色ZnO纳米棒（6mL AuNPs）。从EDS和TEM的结论可知纳米金粒子（AuNPs）成功的与黑色ZnO进行了复合。通过SEM清楚地观察到AuNPs/ZnO（6mL AuNPs）纳米棒垂直排列生长并且其内部是相互联通的骨架空间结构,这样的形貌结构可以对水分子进行快速地传递和运输,从而增强其湿敏性能。湿敏测试结果表明,在不同湿度（11%RH到95%RH）环境下,AuNPs/ZnO湿度传感器比纯ZnO湿度传感器具有更快的响应,AuNPs/ZnO湿度传感器（6mL AuNPs）的灵敏度比纯ZnO湿度传感器高出三个数量级的变化,湿度滞后性低至2.8%,响应和恢复时间分别为32.6s和5.6s。