磁浮平面电机是一种平面运动机构，其动子和定子间采用磁浮支撑，可实现无摩擦磨损的六自由度大行程平面运动。相比于依靠直线电机正交组合驱动的传统平面电机，它具有运动结构简单和运动质量轻等特点，易于实现高速和高加速，利于双台交换并可在真空坏境工作，是高性能光刻机的新型核心驱动部件，并是下一代极紫外光刻机的运动必需部件。因此，开展磁浮平面电机研究，对提升我国的高性能光刻机技术具有重要意义。本文对磁浮平面电机的运动控制系统硬件进行了设计研究。根据磁浮平面电机运动控制特点与独立线圈控制的解耦特性，提出了基于DSP+FPGA的控制器及功率放大器硬件结构，进行了运动控制器与功率放大器的硬件电路设计。运动控制器硬件设计包括：DSP子系统，FPGA子系统，模拟和数字I/O接口电路，RS-485高速通信电路，高速并行总线接口电路，电源电路等；功率放大器硬件设计包括：放大器接口电路、PWM电路、功率桥电路、输出滤波电路、电流环反馈电路、过载保护电路等。最后通过搭建系统调试平台和环境，对运动控制器和功率放大器进行了完整性和功能性测试。本文的磁浮电机运动控制系统硬件，具有开放结构，可根据电机驱动线圈数目进行扩充，最大可扩至32轴。经过测试，研制完成的运动控制器和功率放大器，取得良好的驱动性能，其输出PWM开关频率可达100~200KHz，最大驱动电流12A，电流分辨率约为5mA，线圈驱动时响应带宽达到4KHz，可以实现高性能的电机驱动。