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论文的主要研究内容：1）构建一套动态纳米加工系统,完成点、线结构的加工,开发辅助加工软件,对加工过程进行监控;2）分析外加动态信号下探针和样品间的电场分布情况,为AFM电场加工机理的分析提供理论依据;3）研究动态电场下AFM诱导氧化的动力学过程;4）利用AFM进行静态和动态纳米加工,比较加工结果,并进行理论分析;5）对加工结果提出评价方法并进行误差分析.