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加速度计是现在军事导航系统的核心,随着惯性技术的日趋成熟,正朝着高精度、低成本、数字化、集成化等方向发展。微机械加速度计具有体积小、功耗小、易集成和可批量生产等特点,不仅成为惯性导航和系统控制的核心元件,还能够满足汽车工业等民用领域的要求。Σ-Δ技术是一项低频信号调制技术,具有精度高、线性度好、便于与数字系统集成等优点,将其应用于微机械加速度计,不仅可实现数字化输出和闭环控制,还使系统易采用高密度CMOS工艺实现,将敏感器件与处理电路完全集成到一个微小的硅片上,实现加速度测量的机电一体化。