一维纳米材料如纳米线、纳米管、纳米棒等以其大的长径比、高的各向异性、独特的结构与物化性能成为了当今纳米科技的研究热点。关于其合成、组装及特性的研究有助于深刻认识晶体的生长,也利于探究对材料形貌和结构的控制及其与独特的性能之间的联系,所有这些都为将来设计和制造纳米级的电子、光子器件提供了坚实的研究基础。目前,一维纳米材料已广泛的应用于许多领域中,如微电子、热电器件、锂离子电池、光伏技术、生物传感。本文主要内容是阵列化镍硅化合物纳米结构的合成及其作为支撑体合成阵列化硅和锗纳米结构作为锂电池负极材料的研究。镍硅化合物纳米结构在微电子领域有着重要的应用,尤其作为欧姆接触、互连结构、栅极材料等具体方面的应用。本文采用化学气相沉积法合成出了大量的镍硅化合物纳米结构,成功实现了对镍硅化合物纳米结构相态和形貌的控制,阐述了相应生长机理。合成的镍硅化合物纳米结构作为一种新型的电极支撑体应用于锂离子电池中,优化了其充放电性能。在锂离子电池中,拥有巨大容量的硅和锗被认为是最为前景的负极材料。但是充放电过程中的体积膨胀和电极粉碎导致的循环性能下降是目前面临的主要问题。本文中采用化学气相沉积法和射频溅射相结合逐步改进材料的结构,分别合成出了硅纳米线阵列、Ni3Si2-Si纳米线、纳米棒阵列以及Ge/NiSiχ纳米线阵列将其应用于锂离子电池中,得到了优异的充放电性能。镍硅纳米线阵列具有良好的导电性,在充放电过程中能够有效支撑Si和Ge,缓解其体积膨胀,是提高锂电池充放电性能的原因,也是我们的创新点所在。