微驱动、定位技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一,而微位移致动器则是微驱动、定位系统中的重要组成部分。压电陶瓷致动器是目前微位移技术中比较理想的驱动元件,它的出现开创了精度进入纳米级的新时代。本文中研究的课题是大行程压电微动台的驱动控制系统,其主要内容和创新点包括:1、论文系统地介绍了压电陶瓷的性能参数及压电元件等内容;2、着重阐述了压电微动台的运动原理、总体机械结构设计、驱动控制系统设计以及性能测试实验:结构设计方面,采用平台式结构,增强了其实用性;变传统单驱动器为双驱动器结构,采用新颖的根据尺蠖运动(Inchworm motion)原理改进的“推—拉”接力运动原理,配以适当的四路驱动信号,使压电微动台实现连续平稳的运动。系统控制方面,通过单片机系统产生四路信号,经直流放大器放大后加载到压电微动台。控制程序采用C51软件编程,以中断方式实现波形控制。3、对压电陶瓷驱动器电源的作用原理、设计特点及分类进行了介绍,并给出了压电陶瓷驱动器的电源设计要求、方法、电路及相关测试参数等方面的内容。驱动电源采用直接稳压和直流放大式原理进行设计,通过与单片机控制系统相结合,保证压电微动台的运动精度。4、实验结果表明:压电微动台的运动位移是线性的,运动速度在驱动电压为200V时可达13.86μm/s,最小步距为亚微米级,行程大于10mm,载物能力可以达到24N。