【摘 要】
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本文概述了目前在高温超导薄膜方面的研究状况和应用前景，特别是目前受到广泛关注的YBa2Cu3O7-δ薄膜和TlBaCaCuO薄膜。利用脉冲激光沉积装置（PLD）研究了在SrTiO3基片上YBa2Cu3O7-δ薄膜的生长机制。 根据两步法的需求，设计了一套能够在许多不同条件下完成铊化处理过程的装置。利用PLD制备了Ba2CaCu2Oy先驱膜（precursor），分析了不同的制备工艺条件对先驱
【出 处】
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中国科学院大学(中国科学院物理研究所)
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本文概述了目前在高温超导薄膜方面的研究状况和应用前景，特别是目前受到广泛关注的YBa2Cu3O7-δ薄膜和TlBaCaCuO薄膜。利用脉冲激光沉积装置（PLD）研究了在SrTiO3基片上YBa2Cu3O7-δ薄膜的生长机制。 根据两步法的需求，设计了一套能够在许多不同条件下完成铊化处理过程的装置。利用PLD制备了Ba2CaCu2Oy先驱膜（precursor），分析了不同的制备工艺条件对先驱膜的化学组分的影响，通过实验，确定了较好的成膜条件为：激光能量密度2J／cm2·脉冲，激光频率5Hz，基片温度为150℃，靶与基片之间的距离37mm，沉积时间45分钟。在比较宽的温区内，分别进行了单一温度下样品高温入炉、随炉快速或缓慢升温、以及双温处理等条件下，薄膜的高温超导特性、薄膜的表面几微观结构。实验表明，在比较宽的温区内，都可以形成Tl-2212高温超导相，但是要想得到高质量的Tl-2212薄膜，铊化条件仍然是比较苛刻的。铊化过程中，铊首先热扩散到薄膜内，并形成许多Tl-2212的核，进而这些核长大连成一体，在这个过程中，由于有基片的作用，使薄膜有取向。俄歇电子能谱和透射电镜分析结果都说明，在温度低于830℃条件下，基片与薄膜之间没有相互扩散，这一点对高温超导薄膜的微波应用非常重要。
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