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有机电致发光器件（OLED）采用有机薄膜作发光层，具有自发光、全彩色显示、高亮度、高对比度、低电压（-5V～20V）、低功耗、轻而薄（体积与重量仅为LCD的1/3）、发光效率高、快速响应、宽视角、单片结构、加工工艺简单及成本低、可制作在柔软的衬底上、器件可弯曲和折叠等特点。自80年代C.W.Tang报道了两层的纯化小分子薄膜高效率电致发光有机二极管以及1990年Burroughes报道了聚合物电致发光后，OLEDs获得了飞速的发展，并很有希望成为下一代显示器的主导。 光学微腔是目前凝聚态物理的研究热点，它能够改变自发辐射的特性（谱线宽度、发光强度等）。在OLEDs中引入光学微腔，可以改变有机电致发光薄膜的发光光谱，窄化光谱宽度，获得单色性很好的发光；而且通过合理的结构设计，可以有效控制发射波长，提高器件的发光效率。 ITO薄膜常用作有机发光二极管的透明电极。它的制备方法有很多，如溅射法，热沉积法，化学气相沉积法，电子束蒸发法，喷雾热分解法，微乳液法，溶胶-凝胶法等。与其它方法相比较，溶胶-凝胶法具有以下优点：溶液的浓度和均匀性容易控制、工艺简单、工艺过程温度低、原材料价格便宜、设备成本低、可以在基体正反两面成膜并可以方便地大面积成膜等。 本文介绍了OLED的研究现状、微腔的基本原理及应用、薄膜光学的基本理论。对光学微腔用于OLED中产生的各种微腔效应进行了详尽的分析，并给出了计算过程和结果。 论文介绍了ITO薄膜的基本结构和常见的几种制备方法，并着重对溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的基本原理和实验过程进行了详细的阐述。当以金属无机物InCl3·4H2O和SnCl4·5H2O为前驱物，HNO3为溶剂，用氢氧化物胶体法制备ITO薄膜时，所得薄膜在厚度为300nm左右时的电阻率最低，为0.15Ω·cm，可见光区域内的平均透过率在85％以上。 本文叙述了用热蒸发法制作OLED及MOLED的基本工艺过程。利用现有的工艺条件，本文只制作了全金属腔结构的MOLED器件。