本论文采用电子束蒸发沉积技术在钛合金表面制备降解速率可控的镁基复合功能性生物薄膜,以改进钛合金在医学领域的应用。采用激光辅助电子束蒸发技术沉积镁掺杂有机硅复合薄膜,该薄膜有望用于人工关节植入体表面,达到促进骨组织增殖和分化的目的。制备不同质量比的镁:有机硅混合物靶材,分别采用电子束、λ=266nm激光辅助电子束、λ=532nm激光辅助电子束蒸发靶材,研究靶材组分和制膜工艺对沉积薄膜成分和结构的影响。采用FTIR和XPS分析薄膜的成分和结构,探索薄膜的形成机理;采用扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）对薄膜的形貌进行分析;采用pH计测试溶液的pH值变化,探索不同薄膜的降解动力学特征,评价薄膜耐腐蚀性能。研究发现,当λ=532nm激光辅助电子束蒸发镁:有机硅（1:1）的复合靶材,沉积的复合薄膜在生理盐水中具有最好的耐腐蚀性能。通过旋转靶材的位置,采用电子束蒸发技术在同一工艺流程中逐层沉积镁、钙、氧化磷和有机硅树脂多层复合薄膜。研究热处理温度对Mg-CaH₂双层薄膜、Mg-CaH₂-P₂O₅三层薄膜以及Mg-CaH₂-P₂O₅-K42四层薄膜的结构和性能影响。采用FTIR和XPS分析薄膜的成分和结构,探索薄膜的形成机理;采用SEM对薄膜的形貌进行分析;采用Tafel曲线在模拟体液中测试薄膜的降解动力学特征,评价薄膜的耐腐蚀性能。结果表明,在模拟体液中,多层复合薄膜有助于骨生长,且在Ti-6Al-4V合金表面上热处理后的Mg-CaH₂-P₂O₅-K42四层薄膜有最好的耐腐蚀性能。