MOCVD设备的研制作为LED产业的核心技术之一,在LED产业发展中扮演重要角色。随着我国对LED产业的重视,独立自主研发MOCVD设备变得十分必要。本文以实际MOCVD设备研发为背景,对其中的若干技术问题展开研究。MOCVD设备研制技术十分复杂,包括机械、工艺、软件和控制等方面。本文的研究涉及软件和控制两个方面,包括三个要点：第一,提出了MOCVD控制的软件系统架构。从软件需求分析入手,结合当前主流软件系统的各自优势,并根据分层和模块化的设计思想,讨论了软件系统的层次划分和层内各模块功能,使用基于CORBA/RPC的通信中间件完成层间实时通信。第二,定义实现了MOCVD温度控制系统接口。将温度控制中参数整定工作放到上位机进行,并设计与控制器通讯的接口,提供多种通信协议。设计和实现了温度控制算法的统一接口,为智能算法在温度控制的应用提供可能。同时设计实现了测试接口DLL的应用程序。第三,提出了基于在线建模和仿生优化算法的温度均匀性控制策略。利用神经网络在线建立MOCVD控制模型,仿生优化算法对影响温度均匀性的功率配比进行优化,为MOCVD温度均匀性研究提供了新的思路。该策略的有效性通过仿真实验验证。本文的研究内容与实际工程实践密切相关,取得的成果有助于指导实际MOCVD的研发工作,且部分成果已在实际应用中得到验证。