基于光流技术的MEMS平面微运动特性的测量

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【摘要】

：

随着微机电系统(MEMS)从研究阶段逐渐步入产业化阶段,对测试技术的需求越来越迫切,特别是MEMS动态测试技术,因其能够测量MEMS三维运动,分析MEMS动态特性、材料特性以及机械力学参数等关键数据,已成为MEMS测试技术的重要组成部分。而研究如何在MEMS运动过程中记录瞬间运动状态,并恢复MEMS面内的运动历程,则是MEMS动态测试技术实现平面微运动测量的关键。论文基于光流技术,对MEMS动态特

【作者】

：

张少婧

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2006年01期

【关键词】

：

微机电系统平面动态特性测试光流图像处理频闪

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