【摘 要】
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该文报告了作者在超导薄膜和台阶结制备与研究的结果.高温超导薄膜的制备主要采用激光镀膜和磁控溅射镀膜的方法,后者有一个特殊的问题,即负氧离子反溅射的问题.作者采用的圆
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该文报告了作者在超导薄膜和台阶结制备与研究的结果.高温超导薄膜的制备主要采用激光镀膜和磁控溅射镀膜的方法,后者有一个特殊的问题,即负氧离子反溅射的问题.作者采用的圆环靶磁控溅射系统有效地减小了负氧离子反溅射.用这种方法,作者在STO衬底上制备出了T<,c>(0)大于88K的外延YBCO薄膜.为了研究交流磁化率法在超导薄膜均匀性测量方面的适用性,设计了几种不同形状和结构的YBCO超导薄膜,用交流磁化率法研究他们与均匀膜的差异,结果表明,交流磁化率法对实验中几种超导薄膜的非均匀性有不同程度的辨别能力.台阶结的制备是分别用碳膜和铝膜作掩膜,使用离子刻蚀中反应离子刻蚀技术,在STO衬底上制作台阶,通过对台阶结的性能测量,表明作者制备的结具有明显的Josephson弱连接效应,说明作者用这两种掩膜制备台阶结的研究取得了初步成功.
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