微位移主动隔振控制系统在精密仪器、微纳米设备的微位移主动隔振中有着广阔的应用前景。本文在NI PXI数据采集系统和BK激振器的基础上，设计了一种由作动器、传感器和控制器组成的新型智能微位移主动隔振系统，搭建了相应的实验平台，提出将有源噪声控制的相关原理应用到智能微位移主动隔振控制中，开发了在LabVIEW软件环境下整个系统的数据采集和F-XLMS控制算法的程序，分别在正弦、扫频和随机激励信号下进行了微位移主动隔振仿真和实验研究，主要创新点如下：1）提出了一种由作动器、传感器和控制器组成的新型智能微位移主动隔振控制系统，该系统是一个完全的闭环系统，具有较高的控制精度、响应速度和稳定性；2）建立了层叠式压电作动器的理论模型，以压电方程为基础推导出作动器厚度变形量表达式，获得了作动器控制电压计算公式；3）探索了适用于微位移主动隔振的控制理论与算法，将有源噪声控制技术的F-XLMS算法应用到主动隔振控制中，使用LabVIEW软件开发了整个系统的数据采集和F-XLMS算法控制程序，为微位移主动隔振系统提供了软件支撑；4）搭建了微位移主动隔振控制系统的硬件实验平台，BK激振器为该实验平台提供初级振动激励信号，NI PXI数据采集系统采集初级振动信号和受控后误差信号，并输出控制电压，为微位移主动隔振系统提供硬件支撑；5）进行了微位移主动隔振的Matlab/Simulink理论模型仿真和实验验证研究，分别将正弦、扫频、随机三种典型振动激励信号作为仿真和实验的初级信号，仿真和实验结果验证了本系统对微位移主动隔振的有效性，为精密仪器和微纳米设备的智能微位移主动隔振系统应用奠定基础。