【摘 要】
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随着气敏传感器件向微型化、集成化和高性能化方向发展，对其制备技术提出了更高的要求。目前，微气敏传感器的制备主要利用光刻、溅射、掺杂等薄膜工艺来完成，工艺复杂、条件苛刻、成本昂贵，因而研发新的工艺制备微气敏传感器具有重大的现实意义。本文利用本实验室自主开发的激光微熔覆设备，提出基于激光微熔覆技术的制备SnO2微气敏传感器的MEMS新方法。SnO2气敏浆料采用乙醇分散-浓缩法制备，该浆料108小时后沉
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随着气敏传感器件向微型化、集成化和高性能化方向发展，对其制备技术提出了更高的要求。目前，微气敏传感器的制备主要利用光刻、溅射、掺杂等薄膜工艺来完成，工艺复杂、条件苛刻、成本昂贵，因而研发新的工艺制备微气敏传感器具有重大的现实意义。本文利用本实验室自主开发的激光微熔覆设备，提出基于激光微熔覆技术的制备SnO2微气敏传感器的MEMS新方法。
SnO2气敏浆料采用乙醇分散-浓缩法制备，该浆料108小时后沉降高度仅为0.5cm，稳定性良好。在匀胶机转速6000r/min的旋涂速度、30s的旋涂时间、Nd:YAG半导体泵浦激光器1mm/s的激光扫描速度和离焦量为零的膜层预置和激光熔覆条件下，在96％的Al2O3基板上制得气敏膜，从SEM照片来看，激光功率为6W制得的气敏膜SnO2颗粒呈球状，比表面积大，粒径在1μm左右，且分布均匀。在96％的Al2O3基板另一面制备微加热器。微加热器的制备方法采用微笔直写技术，加热电源2.5V，电流1.4A，功率3.5W。热响应时间小于20秒，中心点温度335℃，具有良好的热响应速度和温度分布特性。
制备了串并联气敏传感器阵列，研究发现气敏膜的宽度、长度越小，对CO和CH4响应-恢复时间越短，灵敏度越高。在此基础上制备了200μm×500μm的SnO2微气敏传感器。测试该微型传感器对CO、CH4和乙醇蒸汽三种气体的灵敏度分别为4.5、7、9.5，最佳工作温度分别是300℃、300℃、260℃。响应时间分别为15秒、10秒、10秒，恢复时间均为20秒。
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卡尔维诺是一位国际性的作家。他的作品风格多变，从早期现实主义作品，以《蛛巢小径》为代表，到寓言式的短篇小说、童话式的三部曲《我们的祖先》，再到后现代主义风格的小说《寒冬夜行人》、《命运交叉的城堡》，成就了他在二十世纪文学史上的大师地位。 前人对他的关注主要集中在他的作品译介与作品的文学批评上，即以文本分析为基础，辅以文学理论以进行作品批评。但是卡尔维诺不仅仅是一个作家，他也是一个批评者。在他的编
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本文对不同行业中的国内外上市公司年度报告中的董事长致辞部分进行了主位推进模式方面的对比分析，旨在探讨造成两者主位推进模式异同的社会文化因素，从而为题材分析及专门用途英语中的商务写作研究提供一些新思路。首先，本文对从国内外网站上收集来的中外上市公司年度报告董事长致辞部分各10篇进行了主位推进模式分析。本分析是以黄衍的七种主位推进模式，即平行型、延续型、集中型、交叉型、并列型、派生型和跳跃型，以及徐盛