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该文通过理论和实验全方位地研究实验条件、近表面等离子体输运、近表面沉积粒子分布以及基底表面上薄膜生长之间的条件.首先从实验和理论两个方面研究了等离子体沉积吕等离子体中电子和离子的输运;其次利用实验结果建立一个二元动力学模型,研究了等离子体沉积过程中电子输运对近表面活性粒子(沉积粒子)分布的影响;最后建立了薄膜生长的蒙特卡罗(MCS)模型、着重研究了薄膜生长初期形貌变化与等离子体中近表面离子能量、基底温度、基底形貌、沉积粒子能量和表面缺陷之间的关系,同时研究人员也研究了薄膜生长过程中的其它一些物理量与这些条件之间的关系.