目前,国内外对二元、三元及四元的等原子比合金的研究,主要集中在组织及性能方面,对等原子比合金的原子扩散方面研究较少。对于固态的等原子比合金而言,其内部的扩散会直接决定相的稳定性,继而影响到固态下的相变。因此,研究不同组元下的等原子比合金的扩散情况,深入了解等原子比合金的组织结构,进而推广等原子比合金在实际环境下的应用。本文采用真空电弧熔炼炉制备等原子比合金。将四种二元合金CuCo、CuNi、FeCr、FeNi,四种三元合金CuCoNi、CoCrNi、FeNiCr、FeCoNi和两种四元等原子比合金CoCrCuNi、CoCrFeNi的表面镀纯铜。形成铜与不同等原子比合金的扩散偶。对这些扩散偶分别进行不同条件下的扩散退火处理。退火温度分为850℃和950℃,保温时间为6h和10h。分析经扩散退火后,扩散偶的显微组织及微区成分,深入研究Cu原子在不同等原子比合金中的扩散行为。实验结果表明:在二元等原子比合金中,有三种扩散偶中的原子能够出现明显的扩散现象,并形成一定厚度的扩散层。Cu-CuCo合金扩散偶中,原子之间的扩散现象不明显,但是Cu原子在晶界处出现偏聚现象。Cu-CuNi合金扩散偶中,随着退火温度的提升及保温时间的延长,扩散层的厚度增大;Cu-FeNi合金扩散偶中,在保温温度一定的条件下,延长保温时间,扩散层的厚度减小;在保温时间一定的条件下,提升保温温度,扩散层的厚度增大。Cu-FeCr合金扩散偶中,在保温温度为950℃时,原子会出现明显的扩散现象。在四种三元等原子比合金中,组元原子之间没有出现明显的扩散现象。在四元等原子比合金中,Cu原子在Cu-CoCrCuNi扩散偶中出现晶界偏聚现象;在Cu-CoCrFeNi扩散偶中,CoCrFeNi中的Cr原子扩散到镀层,镀层中的Cu原子没有发生明显的扩散现象。在等原子比合金中,Cu原子出现晶格扩散,或者出现晶界的偏聚现象,除却离子半径的这一影响因素之外,还受到空位形成能的影响。即在一定条件下,等原子比合金中的空位形成能数值越高,其晶格内的空位数量越少,原子越不容易出现扩散。