随着等离子体技术的高速发展,等离子体技术在军事方面大展拳脚,极大促进了军事现代化、远程化、科技化发展。等离子体技术主要应用于等离子体干扰、等离子体鞘、等离子体尾迹、等离子体隐身和等离子体镜像雷达。表面等离激元共振模型对电磁波的吸收作用是未来坦克、船舶、飞机隐身技术的关键。本文通过结合扫描透射电子显微镜(STEM)和聚焦离子束两种电子显微技术的方法,研究了金薄膜亚微米结构的表面等离激元。改变自行加工的双缝系统长度、夹缝间距和形状,研究这些因素对双缝系统表面等离激元的影响和耦合机制。夹缝长度的改变可以测量到更高阶高次谐波信号,夹缝长度为1000nm时观测到五阶模式。改变夹缝间距发现,这并不会改变波的传播方向,但是对波的强度有影响,在夹缝间距大于700nm夹缝耦合效应基本消失。改变形状可以观测到新的模式,并且可以根据样品形状调整波的传播途径,这样的话就能根据样品形状有效地调控光谱范围。基于扫描透射电子显微镜(STEM)电子能量损失谱(EELS)的方法,同时研究了蓝宝石、氮化镓、碳化硅、氮化铝四种极性材料的表面声子极化激元。一方面由于缺乏合适的光源和探测器,妨碍了对极性材料性质的理解;另一方面,光学手段检测的信号强度比较弱,对于单个纳米材料很难得到较好的信噪比。使用扫STEM-EELS方法测量表面声子极化激元,同时获得空间信息和能量信息,信噪比良好。通过降低扫描透射电子显微镜的高电压提高能量分辨率的方法,将零损失峰半高宽从10mev降低至4.3mev,对上述四种材料的表面声子极化激元进行测量与分析。在上述四种材料中,针对AlN材料进行深入研究,改变样品尺寸发现新的角模式93mev和表面模式102mev,并通过模拟解析了不同尺寸、厚度对表面声子极化激元的影响。模拟结果发现:随着长宽比的逐渐增大干涉模式逐渐出现,高阶模式逐渐清晰;在长宽比在2～4时,干涉模式逐渐分裂,随着长度的增加能明显看出从中部向两端传播,二阶模式向低能区域移动,表面模式102mev不会随长度发生改变;AlN厚度的增加会出现新的信号峰值,并逐渐向低能区移动,覆盖整个纳米柱的边缘。