论文选题来自科研实践，在介绍MEMS惯性传感器背景和发展现状和讨论了MEMS系统机械结构动力学机电耦合分析方法的基础上，研究工作主要分为两个部分：第一部分介绍了微加速度器的结构设计和工作原理，包括电容式梳齿结构静电驱动及其相关原理，同时对电容式微传感器器件中的各个功能单元和参数模型进行了详细的推导，建立了支撑梁模型、检测电容模型、静电力驱动模型。并给出了差分电容接口原理图。微加速度传感器分析设计时须对结构进行阻尼和噪声分析，其中着重介绍了气体阻尼的分析理论。第二部分利用MEMS专用软件对微加速度传感器结构特性进行了研究，其中包括对梳齿电容式微加速度传感器的原理级系统模型描述，并对其进行模态分析、动力学仿真分析、差分电容输出仿真分析验证了模型的正确性。并可得低g值加速度作用范围内敏感质量块的运动情况，证明了电容梳齿式微加速度传感器良好的线性度。为后续电路设计人员奠定了基础。第三部分根据建立的结构模型对后续读取电路进行了初步分析，根据结构特性设计了加速度信号放大电路。