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干涉测量是光学精密检测中的一种方法,在半导体薄膜厚度检测、非球而而型检测、合成孔径雷达干涉测量(InSAR)等若干方面有重要应用前景。干涉测量以干涉条纹图为测量对象,其相位重构是干涉测量研究中的重要内容,需要对获得的包裹相位进行解包裹运算,从而获得表征物体物理信息的原始相位。在实际测量中,由于欠采样、噪声、阴影、条纹断裂等干扰影响,所采集的干涉条纹图质量不高,使解包裹的运算量和相位重构的误差增大。为此,针对不同类型干扰,需要寻找不同的解包裹算法。 本文在对剪切干涉进行理论分析的基础上,结合滤波算法及干涉级次修正算法,实现了对包裹相位图的高质量解包裹。 论文的研究成果如下: (1)提出了一种基于剪切干涉和整合滤波及干涉级次修正的干涉图波前重建算法,该算法结合剪切干涉、滤波算法及干涉级次修正算法,用流程框架的方式实现了步骤次序和算法结合,以此减小条纹断裂和欠采样造成的相位测量误差。 (2)在对不同剪切量情况下的相位重构进行模拟计算的基础上,对不同类型的干涉图进行了实验研究,获得了不同类型干涉图确定剪切量的方法以及相应的滤波算法。 (3)对解包过程中的滤波算法进行了详细分析,得到了适用于四种类型干涉图的滤波降噪算法,结合剪切干涉和干涉级次修正算法,实现了对包裹相位图的高质量解包裹。 (4)对干涉图解包裹精度的评估标准进行了定性研究,特别对定性评估参数的算法进行了研究,并将其结果用于实际干涉图的评估,其结果反向验证了解包算法的原理。论文的创新点: 将剪切干涉与降噪算法、干涉级次修正算法进行算法整合,实现了对包裹相位图的高质量解包裹。