基于GaSb的热光伏电池工艺技术的研究

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GaSb热光伏电池的应用前景非常广泛。其主要优点有:理论效率较高、噪音低、可靠性高、高体积功率比、高重量功率比等。本论文主要研究了GaSb热光伏电池的材料和制造工艺。首先,对课题的研究背景、热光伏系统及热光伏电池的基本知识、国内外发展状况和光伏电池的制造工艺等进行了阐述。其次,探讨了GaSb材料的制备及性质。深入分析了GaSb材料的结构、能带、电学性质、光学性质和三种制备GaSb单晶的方法。再次,探讨了热光伏电池的原理,半导体的复合过程,并且在详细研究p-n结理论模型的基础上,分析了热光伏电池的等效电路、输出功率、填充因子、效率等重要参数。最后,研究了热光伏电池的制造工艺。其中包括基片的准备、表面清洗、扩散制结、制版、光刻等工艺,并测试半导体材料的部分参数和成品电池的部分电性能参数。在实验的基础上,探索出了制造GaSb热光伏电池的一整套工艺,重点研究了清洗方法,扩散工艺和光刻工艺。为了进一步提高电池的效率,详细研究了减反射层的原理及制备方法。
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