【摘 要】
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该课题采用热梯度强制流动化学气相渗积(FCVI)工艺制备SiC/SiC复合材料.由 于SiC纤维没有涂层,首先进行了纤维表面涂层工艺的研究.利用自行设计制造的化学气相 沉积(CVD)设备
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该课题采用热梯度强制流动化学气相渗积(FCVI)工艺制备SiC<,f>/SiC复合材料.由 于SiC纤维没有涂层,首先进行了纤维表面涂层工艺的研究.利用自行设计制造的化学气相 沉积(CVD)设备,开展了SiC纤维表面涂层工艺研究,研究了稀释气体种类、温度、压力、流量及时间等工艺参数对沉积速度和涂层质量的影响.优化涂层工艺参数,较为合适的工艺参数为:稀释气体采用Ar,沉积温度1100℃、炉内压力10mmHg、流量为乙炔流量150ml/min、 氩气流量300ml/min.采用这些工艺参数可制备比较均匀的涂层,采有不同的沉积时间可制 取不同厚度的涂层.利用自行设计制造的FCVI设备开展了FCVI工艺研究,主要研究了温度、温度梯度、压力及甲基三氯硅烷(MTS)流量等工艺参数对沉积速度和复合材料显微结构的影 响,研究了H<,2>/MTS对复合材料成分的影响.
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