TFT(Thin Film Transistor薄膜电晶体)-LCD（液晶显示器）广泛应用在笔记本电脑、摄像机、手机、相机监视器等方面，市场巨大。在TFT-LCD生产的很多环节需要用到大量的超纯水，其水质的好坏直接关系到TFT-LCD的生产质量，因此对超纯水处理控制系统的稳定性、高效性和可靠性提出了较高的要求。本文在分析超纯水的整体工艺流程的基础上，针对超纯水控制系统的需求特点，设计一整套基于西门子PLC的超纯水处理控制系统，完成了系统设备层、控制层、系统网络通信的全部软硬件设计。底层设备以分布式I/O为纽带进行输入信号的采集及输出驱动控制，采用PROFIBUS现场总线进行信号的高可靠性传输；由于所有现场信号被传输到PLC中集中进行数据处理控制，因此选用双机热备冗余控制方式，实现了基于S7-400H PLC的冗余系统；采用InTouch组态软件技术实现了超纯水系统的上位监控，并通过OPC方式，将InTouch组态软件中的数据与基于WinCC上位组态软件进行交互，实现了与其它自动化系统方的通信。该系统通过集成先进PLC冗余技术、网络技术、现场总线、组态软件等技术，满足超纯水自动化系统对稳定性、可靠性、便于监控性等的全面系统控制要求。自投入运行以来，工作稳定，在提升了超纯水自动化程度的同时，加强了与全厂自动化系统的信息交互，保证了系统的高效性、稳定性和可靠性，实现了完全符合工艺要求的超纯水制备，为企业带来了良好的经济效益。