超精密非球面加工面形精度模型的研究

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超精密车削加工技术是超精密加工技术的一种,属于机械超精密加工技术,是适应现代高科技的需要而发展起来的先进制造技术之一,它综合应用了机械加工技术发展的新成果以及现代电子、传感技术、光学和计算机等高新技术,是高科技领域中的基础技术,在国防科学技术现代化和国民经济建设中发挥着至关重要的作用。从某种意义上说,超精密加工负担着支持最新科学技术进步的重要使命,也是衡量一个国家科学技术水平的重要标志。近年来由于受到各方面的重视,我国的精密和超精密加工技术获得了很大的发展,超精密切削技术已获得较多的生产应用,超精密机床已研制成功,多种精度很高的精密机械和仪器已经能够自己生产。但是,我国的精加工技术水平和发达国家还有相当大的差距。精密和超精密加工技术,因为涉及尖端技术和国防工业的发展,关键的技术,各个国家都是保密、禁止转让或者出口。各国都是自己投入人力物力财力研究开发,我国要想成为一个制造强国,就必须加速发展这方面的技术。在精密和超精密加工技术的应用领域中,光学非球面零件以其特有的优点和优势,在军用和民用产品上越来越普及,而在光学系统的应用中,特别是航空和军事领域里,光学系统都要求非球面具有较高的形状精度。很多光学非球面器件材料都是难加工的脆硬性晶体材料,例如单晶锗。单点金刚石车削技术以其特有的优势广泛地应用于单晶锗的非球面加工中。单点金刚石超精密车削过程是一个相当复杂的过程。影响零件最终加工质量的因素有很多。为了提高切削加工表面质量,本论文根据某公司的实际情况,针对刀具参数对超精密车削加工单晶锗的非球面面形精度的影响进行了深入的研究,主要研究了刀具半径补偿和刀具中心在X轴方向上的偏置对非球面面形产生影响的机理,确定零件的直径、非球面的近轴曲率半径值、刀具半径的补偿值和刀具中心在X轴上相对于主轴线所产生的偏置值的调整量为自变量,非球面面形精度为因变量,通过SPSS软件进行回归模型的建立和分析。从得到的精度最高的模型可以了解,在加工面为凹面时,自变量与因变量的复相关程度为57.4%,自变量可以解释26.5%的非球面面形误差变化。在加工面为凸面时,自变量与因变量之间的复相关程度为63.8%,自变量对非球面面形精度的解释力为30.2%。
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