微机械的研究是现在和将来机械发展的重要方向,其加工方式的重要性也日益突显出来。在众多的加工方式中,微细电火花加工技术以其独特的加工优势成为微机械加工的重要方法,因此微细电火花加工机床的研究在今天成为了众多科研机构研究的热门。本文在对微细电火花加工技术、微细电火花加工机床及机床控制系统等的研究基础上,搭建了一套完备的微细电火花加工机床。对微细电火花加工机床的机械平台结构进行了整体系统的设计,确立了基于“直线电机+光栅尺”的机床平台主体结构,主体结构放置于花岗岩基座上以减少主体结构的振动。为了使机床平台的运动行程和加工范围更广,确立了Y轴叠加X轴、Z轴置于一旁的结构布置。最终对微细电火花加工平台的运动性能的各方面指标进行评估,验证了机床平台的运动精度达到微米级加工水平。微细电火花加工机床的控制系统直接影响着机床的加工精度和加工质量,本文设计了基于“PC+运动控制卡”的双CPU微细电火花加工机床运动控制系统的硬件结构,并就通用加工的要求搭建了含有轴转接模块、A/D采集模块、输入输出模块等的硬件结构系统,该结构也便于将来的二次扩展。基于PComm32动态链接库设计了微细电火花加工机床的软件系统,并开发了软件系统的各个功能模块以及基于VB的人机交互界面。为了使机床运动的响应和性能更好,对机床的各个电机进行了PID整定,最终确立了最优的软件系统的参数和变量。调试微细电火花加工机床,进行大量沉积和去除加工实验,并研究了部分主要的工艺参数对微细电火花加工特性的影响。实验表明,该微细电火花加工机床具有控制响应性能较好、运动精度较高、加工质量较好等优点,完全可以进行稳定的微细电火花沉积加工和去除加工。