高精度模数转换器一般均采用逐次逼近寄存器(Successive Approximation Register,SAR)结构实现,这是因为SAR结构具备功耗低、实时转换、模拟输入易衰减的突出特点。但由于工艺制作存在的固有失配、封装等寄生效应,会使得转换器电路的直流精度无法达到12位以上,必须借助修调技术来提高器件的匹配度,从而提高电路的直流精度。本文根据电荷重分布技术的逐次逼近型模数转换器工作原理,使用爱德万(ADVANTEST)公司的93000型混合信号测试系统,设计并实现了一种16位精度6通道同步采样逐次逼近型模数转换器,对其转换误差进行了修调与电参数测试。研制转换器的微分非线性误差和积分非线性误差均小于±4LSB,直流精度达到14位以上,同时还具备工程化批量生产能力。本文主要研究内容如下:分析逐次逼近型模数转换器工作原理及其内部电荷重分配型数模转换器修调的基本方式,并据此研究转换器非线性误差的测试和修调算法;制定各参数测试方案,根据ADVANTEST 93000型ATE使用手册设计测试和修调用负载板硬件;基于ADVANTEST 93000和SmarTest环境设计和实现修调测试软件。实现转换时间、基准电压和微分非线性误差修调,最后对电路进行电参数测试;优化多通道情况下的测试和修调方式,将测试和修调时间控制在数分钟以内,以具备工程化生产能力。论文成果可用于16位精度6通道同步采样逐次逼近型模数转换器的批量生产和测试,产品转换精度高,电参数一致性好。