基于空间光调制器的干涉测量技术研究

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数字剪切散斑干涉术可以实现对被测物体的位移、形变、震动等诸多信息进行有效的测量,由于其具备高精度、非接触性、可以实现全场测量等优点,在工程技术领域得到广泛的利用和研究。但目前的数字剪切散斑干涉术在系统搭建成型时剪切量就已经确定,无法在元件固定的情况下根据测量情况灵活地对剪切量进行调整,限制了数字剪切散斑干涉系统的使用场景,不利于系统集成化。为了克服这一瓶颈,本文提出了基于空间光调制器的数字剪切散斑干涉术。以二元光学的衍射原理为基础,实现了在保持光学元件固定的情况下对剪切量进行调整,并通过仿真说明了剪切量对剪切干涉测量技术的影响。本论文的主要工作有:(1)设计并搭建了基于空间光调制器的分光光路,实现了通过空间光调制器进行分光并对剪切量进行调节;(2)设计了一套基于空间光调制器的剪切干涉测量系统,用于对周边固定圆盘的热应力进行测量。该系统用空间光调制器代替了传统的剪切装置,实现在系统固定状态下对剪切量的控制。通过采用时间序列算法简化了相移装置,可以实现实时的动态测量;(3)对不同剪切量条件下的干涉图进行分析,总结出剪切量对干涉图像条纹和测量结果的影响;(4)使用有限元软件进行仿真实验,获取加热条件下被测物体的变形量理论值的分布情况;(5)编写数据处理程序,获取并处理干涉图,求得离面位移梯度分布情况并对不同剪切量下的实验结果进行分析。图43幅,表2个,参考文献46篇。
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