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在这篇文章中讲述ZnO欧姆电极的制备与ZnO：Al/p-Si异质结紫外光电特性研究，还要介绍基于Si衬底的ZnO薄膜MSMUV增强光电探测器的研究的研究工作。
本文第一章简要介绍ZnO材料的结构、特性以及应用，并回顾近年ZnO领域的研究进展，还总述了本文的工作。第二章介绍ZnO材料的晶格结构以及ZnO薄膜材料的详细制备方法。第三章介绍了金半接触理论以及紫外探测的相关问题。第四章基于ZnO形成的机理，应用半导体能带理论，分析了金属和ZnO的欧姆接触和肖特基接触特性。。第五章讲述采用微电子平面工艺。