太赫兹技术在通信、医学、生物检测、安检、材料等很多领域有重要的应用价值，由于目前缺乏有效的太赫兹调制器、滤波器和分束器等太赫兹功能器件，导致太赫兹技术在各领域的发展十分缓慢。石墨烯具有费米能级可调控特性，自从被发现以来就得到了很大的关注，这一特性在太赫兹功能器件领域具有潜在的应用价值。VOx薄膜在温度变化时能发生绝缘体-金属相变，这一特性可以用于太赫兹波的强度调制。本文利用石墨烯与VOx两种材料的特性，开展基于石墨烯与VOx复合材料的太赫兹波的调制器研究，主要研究内容包括：
　　（1）设计了一种基于VOx-高阻硅-VOx三明治结构的光诱导大深度太赫兹波调制器。此结构中，高阻硅的厚度为510μm，两层氧化钒薄膜的厚度都是100nm。与传统采用化学气相沉积工艺和溅射工艺制备的二氧化矾薄膜相比，本文采用旋涂工艺制备VOx薄膜，所需实验设备少，流程简单，易于制作，成本低。使用太赫兹波时域光谱系统（THz-TDS）来测试样片的特性，测试过程中，用两束中心波长为650nm的斜入射泵浦激光分别诱导VOx薄膜相变。实验结果表明：在0.2-2.0 THz的宽频范围内，光功率为120mW时，最大调制深度可达93%。
　　（2）设计了一种基于VOx-高阻硅-石墨烯三明治结构的光诱导宽带大深度太赫兹调制器。首先在高阻硅基底的一个表面转移石墨烯，然后在另一个表面用匀胶法制备VOx薄膜。当两束中心波长为650nm的泵浦激光分别照射VOx与石墨烯表面时，不但诱导VOx发生了绝缘体-金属相变，而且引起石墨烯费米能级改变，以实现对透射太赫兹波强度的调制。当两束泵浦光的功率为80mW时，在0.2-1.6 THz的宽频范围内最大调制深度高达92%。
　　此两种太赫兹调制器具有频带宽、调制深度大、制作工艺简单和泵浦光功率低等优点，在未来宽带太赫兹通信和全光太赫兹系统中具有十分重要的应用价值。