【摘 要】
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许多密闭的系统和元件都需要在真空条件下才能正常的工作,近十年来,这种真空应用越来越多,如CRTs,X射线管,金属杜瓦瓶,真空绝热管和真空绝热板等。它们都存在的一个问题是其真空度
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许多密闭的系统和元件都需要在真空条件下才能正常的工作,近十年来,这种真空应用越来越多,如CRTs,X射线管,金属杜瓦瓶,真空绝热管和真空绝热板等。它们都存在的一个问题是其真空度在长期工作条件下都会恶化。如何保证其真空度维持在一定的水平,保证器件正常的工作条件,是广大真空工作者需要解决的问题。
本文研究了红外线成像仪红外探头传感元件上用来真空绝热的,体积大约为9~13ml,类似于杜瓦结构的微小容器的真空度恶化的原因,讨论如何在长达十年之久的时间内仍能保持真空度在一定的水平。本课题所涉及到的问题很棘手的,如微小容器不能进行高温除气,抽气过程中不能测量内部真空度及不能使用蒸散型吸气剂。
由于微小容器的主要构成材料为可阀合金——铁、镍、钴的合金,因此我们需要测定此可阀合金在常温下的放气率,故在兰州物理所,经过半年的努力,建成了材料放气率的真空测量系统,并且测得了可阀合金的放气率实验数据,并运用相关模型进行了计算和研究。
材料放气模型,除了由表面脱附解吸引起的放气外,其研究材料长期的放气有两种理论:扩散限制模型和表面复合模型。应用较多的是扩散限制模型,目前的研究很多都是关于它的;而表面复合模型由于受到各种因素的影响,目前还只停留在理论的研究上,其具体的实际应用还没有。本文,比较系统的讨论了两种模型,并且对两种模型的应用条件和范围进行了探讨。
论文讨论了材料放气率的影响因素,对于用热阴极电离计测量材料放气率时,气体成分的影响进行了讨论;讨论了再吸附对测量材料放气率的影响;综合分析了各种预处理方法和热处理方法对降低材料放气率的影响。
在吸气剂吸气机理上,讨论了吸气剂吸氢动力学,对本课题的微小容器真空保持技术提出了解决方案。
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