HEDP镀铜工艺及电沉积铜动力学研究

被引量 : 0次 | 上传用户:bing4086
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
氰化物溶液镀铜是常规电镀中使用最为广泛的一种预镀铜工艺,但这一工艺使用有毒有害的氰化物,影响人类社会的公共安全和污染环境,也是目前我国明文禁止使用的一种电镀工艺。研究开发无氰镀铜技术替代这种氰化物溶液预镀铜工艺对于我国电镀工业的可持续性发展和促进生态环境保护都具有十分重要的科学意义。在研究开发的众多无氰镀铜技术中,HEDP溶液镀铜技术是最有可能替代氰化物溶液镀铜工艺之一,本文在前人研究工作的基础上采用多种电化学研究方法和分析测试技术对HEDP溶液镀铜的最佳镀液组成与工艺条件及其电沉积铜的动力学规律进行了较系统的研究探讨。(1)通过赫尔槽实验和方槽直接电解实验研究了HEDP溶液镀铜的镀液采用不同主盐时对镀铜工艺过程和镀层质量性能的影响。HEDP溶液镀铜的镀液采用具有不同阴离子的主盐时,主要是不同阴离子对电镀工艺过程和镀层质量性能的影响方式和影响程度不同。实验研究确定HEDP溶液镀铜的镀液使用的最佳主盐为CuSO4·5H2O。HEDP溶液镀铜的镀液使用CuSO4·5H2O为主盐时半光亮镀层的电流密度范围为0~1.947A/dm2,所得镀层结晶细致、致密平整,与钢铁基体的结合力良好;采用阴极电流密度为1.0A/dm2时进行电镀的镀速为0.192μm/min,阴极电流效率可达92.5%。(2)通过赫尔槽实验和方槽直接电解实验研究了在基础镀液组成(HEDP160g/L,CuSO4·5H2O40g/L,K2CO340g/L,PH9.5)中多种添加剂及其复配的作用。研究结果表明,不同添加剂对HEDP溶液镀铜的工艺过程和镀层性能的影响程度不同。HEDP溶液镀铜使用中间体HES为添加剂时电流密度范围为0.05~10.01A/dm2;使用中间体HEA为添加剂时电流密度范围为0~8.99A/dm2。中间体HES和HEA作为添加剂具有晶粒细化和整平作用,两者复配使用所得镀层光亮度明显增加;使用中间体HEM为添加剂时低电流密度区的光亮度增加。使用复配添加剂(HEA1.5mL/L+HES3mL/L+HEM0.5mL/L+CB-10.5mL/L)在阴极电流密度为0.24~6.70A/dm2范围内电镀可获得平整光亮、均匀致密、无微裂纹的优质铜镀层;在1A/dm2的阴极电流密度下的镀速可达到0.210μm/min。(3)通过大量过赫尔槽实验和方槽直接电解实验研究,确定HEDP溶液镀铜(挂镀)的最佳溶液组成和工艺条件为:HEDP160g/L,CuSO4·5H2O40g/L,K2CO340g/L,复配添加剂(HEA1.5mL/L+HES3mL/L+HEM0.5mL/L+CB-10.5mL/L),PH9.5,50℃,阴极电流密度范围为0.24~6.70A/dm2,电解铜阳极,空气搅拌。在这一溶液组成与工艺条件下镀铜的镀速可达到0.21μm/min,所得铜镀层均匀平整,外观全光亮。(4)通过进行大量滚镀实验研究,确定了HEDP溶液镀铜应用于滚镀工艺的可行性。实验确定的HEDP溶液镀铜(滚镀)的最佳镀液组成与工艺条件为:HEDP120g/L,CuSO4·5H2O16g/L,K2CO340g/L,HEAS0.8mL/L,pH9.5,温度50℃,滚筒装载量为50g/筒,阴极电流2.0A,滚筒转速15r/min。在该镀液组成与工艺条件下滚镀120min,可获得厚度大于10μm、表观半光亮且与钢铁基体结合力良好的铜镀层。(5)通过测量循环伏安曲线及极化曲线研究了HEDP溶液体系电沉积铜的电极过程动力学规律和添加剂对阴极极化的影响。HEDP溶液体系电沉积铜的电极过程是一步放电还原的不可逆过程,其可能的反应机理为:CuY2-+2e→Cu+Y4-。添加剂HES和HEA具有明显改变铜电沉积过程的阴极极化作用,添加剂HES还具有降低电沉积铜的超电势和增加析氢超电势的双重作用,有利于提高电沉积铜的电流效率。HEDP镀铜溶液镀铜时采用铜阳极,阳极氧化过程会发生钝化,影响其正常溶解。
其他文献
车载自主导航定位技术是ITS系统的核心关键技术之一。一直以来都是国内外的研究重点与热点。本文通过对现有车载自主导航定位技术的分析,针对车载GPS/INS组合导航在GPS信号有
我国食用菌生产量占世界第一位,食用菌产业的发展在我国农业发展中占有重要地位。食用菌不仅种类繁多、味道鲜美,还含有多种药用和保健功能的有效成分。但目前在中国市场上食用
客户关系作为企业的一项重要资源,越来越受到人们的关注。首先,企业充分利用客户资源,可以及时掌握市场需求变化、拥有稳定收入来源,甚至减少竞争风险。尤其是现阶段国内外市场竞争愈发激烈,市场供过于求的状况频发,我国制造业急需寻求新的出路。其次,市场经济高速发展,需求趋于多样化,企业想要及时掌握市场动态就要建立稳定的合作关系。最后,在经济一体化的趋势下,企业间的竞争方式从根本上发生变化,供应链与供应链的对
2013年国家机构改革,改变了我国多个部门共同按环节监管养殖水产品质量安全的管理体制,对水产品管理的机构进行调整,该项改革是在总结以前监管经验的基础上提出的,改变了政府监管
伴随着社会现代化进程的深入,作为后发现代化国家,中国社会体制的逐步转型,迅速地消解着原有的社会结构。新的社会存在、生活方式挤压着传统的境遇空间,人们面临着前所未有的竞争
公信力是现代政府应当具备的基本政治价值之一,但在网络社会背景下,我国政府却面临着公信力不断缺失的困境。网络社会独特的政治生态环境,为政府构建公信力设置了完全不同的环境
目的:研究妊娠滋养细胞肿瘤患者外周血β-HCG mRNA表达情况,评价其表达与不同临床指标的关系,寻找评估妊娠滋养细胞肿瘤早期血行转移的标志物。方法:收集28例妊娠滋养细胞肿瘤、1
气辅共挤成型技术是一种新型的塑料成型工艺,因为口模内壁与塑料熔体表面之间存在稳定的气垫膜层,使得熔体在口模内的挤出方式由非滑移的黏着剪切流动转换为完全滑移的非黏着剪
创造性是多种能力与优良人格的整合,培养学生创造性应从创造性的各成分入手.
近些年来,我国的城市化建设步伐越来越快,相应的市政基础设施也得到了极大的完善。市政工程是城市进行运行的重要条件,市政工程中所使用的施工技术关乎到市政工程施工最终的