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由于微电子技术飞速发展使芯片功耗足够小，已达到微、纳瓦量级水平，组成的系统也在毫瓦量级；为此提出将周围环境的振动能量转换成电能收集并存储起来，使其作为系统能源成为可能。本文基于CMOS和MEMS工艺研究带电路输出的PZT电能收集器，采用溶胶-凝胶工艺制备PZT薄膜，利用PZT薄膜的正压电效应将环境中可利用的振动能量转化为电荷，并通过整流电路收集电荷及能量存储电容输出电能信号。采用XRD对制备的PZT粉体原料配比和晶格结构进行分析，结果表明制备的PZT粉体具有钙钛矿相结构，在700℃条件下热处理1h的