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波导微环谐振腔具有体积小、滤波性能好、易于集成等优点,以它为基本结构可以构成各种不同功能的集成光学器件,如滤波器、激光器、调制器、光开关、光延迟线和波导传感器等。有机聚合物材料因其可加工性好、制备工艺简单、热光系数高、成本低等优点在集成光学器件方面应用非常广泛。本论文主要研究聚合物微环谐振腔的工作原理、结构设计、制备工艺、可调谐特性以及延时特性等。本文理论设计并优化了跑道型聚合物可调谐微环谐振腔的结构参数：在一设计倒脊形单模波导结构的基础上,研究了弯曲半径、耦合间隙、耦合长度以及电极结构等参数对器件的性能影响,通过光束传播法分析其光谱特性,最终得到器件的优化结构参数为：内脊高1.8μmm,芯层平板厚度1.1μm,脊高0.7μm,耦合间隙1.5μm,耦合长度300μm,弯曲半径1500μm。在硅衬底上以ZPU-44为上下包层材料、聚砜为芯层材料,利用旋转涂覆、光刻、反应离子刻蚀等工艺对器件进行了制备,并对器件进行通光测试,测试结果表明跑道型器件在通信波段1550nm附近的自由光谱范围(FSR)为0.15nm,3dB带宽为0.0235nm,品质因子达6.60×104,在0V-4V电压范围内实现了0.5dB-12.95dB消光比的调谐,且谐振波长调谐一个FSR的电压为4.75V,最大延时量为1.08ns。针对直接耦合型(直波导与微环直接耦合)微环谐振腔在调谐消光比时谐振波长漂移问题提出了优化方案,并对器件进行了理论设计、工艺制备以及通光测试,测试结果表明改进型微环谐振腔的最大消光比较跑道型器件提高了3.15dB,且在调谐消光比时谐振波长漂移现象有所改善。实验结果表明器件具有良好的热光调谐特性、较高的Q值以及良好的延时特性,且器件结构紧凑、制备工艺简单,在光滤波器、光调制器、光波导传感器以及可调谐光延时等方面具有一定的应用价值。