【摘 要】
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移相干涉术(PSI)作为快速、非接触的精密测量手段,已经广泛地应用于光学零件、光学系统、精密表面的检测和其它与光程差参数相关的物理量的测量(如温度场、密度场等).该文首
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移相干涉术(PSI)作为快速、非接触的精密测量手段,已经广泛地应用于光学零件、光学系统、精密表面的检测和其它与光程差参数相关的物理量的测量(如温度场、密度场等).该文首先介绍了移相干涉术的基本原理和特点,对其中的一些关键技术问题进行了研究.论文在对波面解包进行了详细理论分析的基础上,设计了相位解包算法,编制程序对实验数据进行了处理.提出了分析静态干涉图的新方法——虚光栅莫尔条纹法,该方法把移相干涉术和莫尔条纹法两者相结合,能够有效的解决实际干涉测量中的一些具体问题.以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象,设计了一种基于最小二乘迭代的新算法,该算法可以解决压电陶瓷堆微位移驱动器在实际工作中引入的非线性误差的问题.对移相干涉术中的移相器的类进动问题进行了详细地理论分析,并设计了具体的实验,对波面旋转情况进行了定量的测试计算分析,给出了相位解包后的误差公式,分析了引起误差的因素,提出了控制误差的原则.
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