随着全球经济一体化的快速发展,技术创新已成为各国竞争能力的重要体现之一。中国自改革开放以来,一直将技术创新摆在经济发展的首位,对技术创新的扶持与鼓励政策层出不穷,政府补助金额也逐年增加,由此,受到众多学者的广泛关注。时至今日,国内外学者聚焦于研究政府补助对企业绩效的影响,对政府补助、研发投入及企业绩效三者间关系的研究相对较少。由此,本文以高新技术企业作为研究对象,引入中介变量研发投入来探讨政府补助对企业绩效的关系,并对比在不同行业中高新技术企业政府补助的使用效率。基于政府干预理论与软预算约束理论,本文选取创业板中通过高新技术企业认定的679家高新技术企业2015-2018年的数据作为研究样本,在全样本和剔除没有发明专利数子样本下考察了政府补助对高新技术企业绩效的影响,及研发投入作为中介变量在政府补助对高新技术企业绩效之间的影响,此外对处于不同行业的高新技术企业的政府补助效率进行对比,运用STATA和SPSS统计软件对所有变量进行实证分析。结果表明:(1)政府补助对当期高新技企业绩效呈显著正相关关系,即高额的政府补助能够帮助高新技术企业获得较高的托宾Q值,实现科研转化增加发明专利数;政府补助对所有行业的高新技术企业绩效呈显著正相关。(2)政府补助对当期高新技企业研发投入呈显著正相关关系,即政府补助金额越高企业进行研发投入金额也越高;政府补助对所有行业的高新技术企业研发投入呈显著正相关。(3)研发投入在政府补助对高新技术企业绩效的影响中起到显著中介作用;在制造业和信息传输、软件和信息技术服务业中,研发投入在政府补助对企业绩效的影响中起到部分中介作用;在科学研究和技术服务业及水利、环境和公共设施管理业中,研发投入在政府补助对企业绩效的影响中起到完全中介作用。结合实证结论提出几点建议:优化不同行业政府补助;完善政府补助政策;提高研发投入披露质量;增强企业研发投入意识。