半导体制造过程是世界上最复杂的制造过程之一，具有可重入、大规模、混合加工方式、多产品、不确定性等特点，这给建模和调度带来了很大的困难。本文主要探索半导体制造过程新的建模方法以及解决调度难题的新途径。 针对半导体生产线调度复杂、难以优化的问题，本文提出了一种基于层次有色赋时Petri网技术和免疫算法相结合的优化调度方法。该方法利用层次化的方法结合自顶向下建模方法对半导体生产线进行模块化建模，模型不仅能够反映生产线的待加工产品的多条加工路径及其资源约束，还可以对系统的设备维护、各种优先级等特性进行描述，得到对生产系统更完善更精确的刻画。在模型运行之前，随机生成免疫算法种群，其中免疫算法编码中同时考虑工件选设备规则、批加工调度规则和单件加工设备规则等因素得到更加有效的调度规则集，提高了模型的优化程度。模型根据染色体编码中对应的规则进行调度，通过仿真得到优化的规则组合。在此基础上，对实际半导体生产线的不同调度方案分别进行了仿真，并把仿真结果进行了比较，从而验证了建模方法的正确性及调度策略的有效性。