【摘 要】
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该文首先对璀世界上能够实现纳米测量的传感技术作了综合比较,在此基础上采用电容调频式测量方案.该文详细阐述了影响电容式位移传感器测量量精度的主要问题的产生机理,并提
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该文首先对璀世界上能够实现纳米测量的传感技术作了综合比较,在此基础上采用电容调频式测量方案.该文详细阐述了影响电容式位移传感器测量量精度的主要问题的产生机理,并提出了相应的解决方法.主要研究工作概括如下:1、外接振荡电路采用零点温度保持电路为主的高稳定性振荡电路,有效地抑制了杂散电容的干扰和温漂的影响,较明显地提高了频率稳定性,有助于提高传感器的有效分辨力;2、选用差频调频电路,使系统同时具有较高的位移调制灵敏度和较高的测频灵敏度,并具有一定的抗温漂能力;3、采用高速高精度连续测频方法,消除了±1个字误差.该文解决了位移传感器设计及研制中几个关键性技术问题,通过实验和误差分析,其频率稳定度达到10<-6>.为研制纳米精度传感器提供了一项关键技术.
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