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以微机械加工工艺和集成电路工艺为基础的微机械硅陀螺在军民两用市场上有着广阔的前景.该论文研究了一种新型的、中等精度的、适合中国现有加工工艺、体硅溶解法的梳齿式机械陀螺.文中重点阐述了微结构的方案选型、结构参数设计.主要内容包括:1.单层、振子分离、定齿偏置的梳齿式z-轴微机械陀螺结构方案设计.2.微结构梁的方案选择.3.梳齿式陀螺的性能分析.4.性能指标预示.